一般意义上讲纯水至少应该是去离子水,即水中大部分阴阳离子是应该被去除的.细菌、悬浮物等的含量也应是相当低的.
目前水质要求最高的超纯水是半导体行业,根据半导体芯片的大小和线径的不同水质要求也不一样,其超纯水的水质指标如下:
电阻率大于18.2兆欧(25摄氏度);TOC(总有机碳)小于1到10ppb,DO(溶解氧)小于1到10ppb;Particle(颗粒):0.05微米小于200个/升;离子含量大部分是小于20到50ppt;细菌检测:无.
超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出
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