60岁美籍博士毅然回国，赤手空拳发明中国专利半导体，后来怎样？

人类最有价值的道德是什么？那就是爱国心.——拿破仑

正所谓科教兴国，自从新中国成立以来，我国各方面都在飞速发展，取得了非常瞩目的成绩，尤其在科技方面，进步非常明显，很多研究几乎已与发达国家持平，但因为有些科技技术起步比较晚，还是有一些关键技术并未实现真正的自主研发，依然需要依靠进口。

在这种情况下，被卡脖子是常有的事。看到祖国这个情况，一位老科学家挺身而出，带领自己的团队回到了中国，为中国冲破技术垄断作出了巨大的贡献，他就是尹志尧，正因为他当时义无反顾之举，中国有了真正属于自己的专利技术！

优秀的家庭造就优秀的他

1944年，尹志尧出生于北京一个书香世家，从他的祖父那一代开始，家族一直都很兴旺，受到国家的重视。祖父曾是一名公费留学生，眼界、格局都非常高。而他的父亲，也在祖父的培养下曾去国外留学，毕业后放弃国外的高薪毅然选择回到中国成了一名教授，为祖国效力。

要知道在当时的中国，还处在动荡不安的环境中，父亲回国也自然受到了很多人的不解，但浓浓的爱国情 *** 使他毅然毫不犹豫做出了这个选择。尹志尧也受到了父亲的影响，从小就对祖国充满了感激之情。

在这样一个优秀的家庭中成长起来的尹志尧也非同一般，他从小学习就非常好，成绩一直名列前茅。他的兴趣爱好也很多，尤其喜爱下棋，据他所说，这个爱好，能锻炼人的思维能力和分析能力，空暇时间，他经常和祖父来上那么几盘，一玩就是一整天。

1956年，尹志平考入北京第四中学，和同龄人比起来，尹志平就像一个成熟稳重的老大哥，见识颇广，深受同学和老师的喜爱。在校期间，他还一直在共青团少先队里任大队长，能力十分出众。

1962年，尹志尧以优异的成绩考入了中国科学技术大学化学物理系。他有着丰富的想象力，超级活络的思维，在这一专业中非常吃香。在所有人看来，化学物理是一门非常枯燥乏味的学科，然而尹志平却如鱼得水，学得风生水起。

他尤其喜欢做科研和实验，经常在实验室一呆就是一下午，为了能让自己的专业知识更加巩固，他经常泡图书馆，不懂就问老师。尹志尧的努力上进很快得到了老师的重视，很多老师在做实验的时候都喜欢带着他一起，像工作伙伴一样和他一起探究。

为学技术而出国

1968年，毕业后的尹志尧被分配到中科院兰州物理化学所成了一名研究员，他在这岗位上一呆就是10年，然而到了后期，随着研究深入，他发现自己知识储备量支撑不起研究的进度，他的研究进入了瓶颈期。

为了能学到更多专业知识，他一边工作，一边学习，1978年考上了北京大学化学系硕士，之后，他暂时放下工作，只身前往北大攻读了2年。在这2年中，尹志尧取得了很多优异的研究成果，他写的研究论文被发表在很多专业报刊上，这些论文中深度的见解和剖析，被加利福尼亚大学看重，向他抛来了橄榄枝。

在当时，中国的科学发展还处在起步阶段，为了能学到更多专业知识，向世界看齐，权衡之下，尹志尧决定前往加利福尼亚大学留学，在留学期间，他像一块海绵一样，不断向导师和同学吸收知识，很快几乎整个学校都认识了这位来自东方的朋友。

而他也成功获得了物理化学的博士学位。1984年，博士毕业的尹志尧很快得到了第一份工作，美国硅谷英特尔公司邀请他到美国总部担任工程师兼研究员。可以说，英特尔在当时是世界上研发计算机最出色的公司之一。

而尹志尧在北大读硕的时候有幸见过一次这体积庞大的计算机，那个神奇的机器在尹志尧的心中一直念念不忘。当时的中国，根本没有研发这个机器的团队。几乎是不假思索，尹志尧立即答应了这个邀请。

1984年，他来到硅谷，在英特尔公司呆了几年，掌握了技术之后，又跳到LAM研究所和应用材料公司等任职。在这16年的职业生涯里，尹志尧也获得了不小的成就，他所在的团队，仅用了9年时间，就让应用材料占领了40%的市场份额，还有多项专利，成绩斐然的他，也被尊称为硅谷最有成就的华人之一。

念念不忘中国，功成名就之时毅然回归

自从进入2000年以来，中国科技发展几乎是日新月异，科技类企业层出不穷，各项研究开发如火如荼地展开着，慢慢踏上了国际轨道！这时候的中国，正急需有知识有才学有能力的人回来贡献自己的力量！

16年前，尹志尧已经60岁了，这个已经活了大半辈子的老人积极响应祖国的号召，毅然放弃了国外的高薪和名利，回到了祖国的怀抱！此时的归国，他不仅带回了自己的全部知识和技术，更是带回了自己在国外的一整个团队，足足有15人！

但因为美国对知识产权特别的监管十分严格，尹志尧及其团队只能两手空空地回来，将所有的书面材料都留在了美国。回国后，尹志尧马不停蹄地在上海注册了中微半导体设备公司并担任了公司的董事长兼总裁。

创业初期，尹志尧及其团队遇到了很多难题，几乎是赤手空拳打天下，只能依靠自己脑子里这多年积累下来的丰富经验和专业知识从零开始。当时，西方国家拥有半导体的垄断权，中国所有核心技术都是依靠西方国家进口，为了能让祖国摆脱这种情况，尹志尧和团队开始了技术研发。

经过多年的试验，在尹志尧的带领下，这些专家们还真的生产出了只属于中国专利的半导体专利，尤其是在刻蚀机这一块，中微半导体研发的刻蚀机，竟实现了在米粒上刻1亿个字到十亿个字的突破，完完全全突破了国外刻蚀机的技术垄断。

这个技术也为我国自主研发芯片奠定了坚强的技术基础，为祖国的核心技术发展创造了新的机会！老骥伏枥志在千里，尹志尧并不止步于此，为了能让祖国更上一个台阶，他的团队还在孜孜不倦地努力着。如今，尹志尧老先生已经是70多岁的高龄，但他从未想过放弃自己的使命，他的科研精神，值得我们每个人学习。

自古以来，我们国家涌现出了许许多多的爱国英雄，在国家需要的时候挺身而出毫不犹豫，钱学森便是其中的一个重要代表，放弃在美国的各种优越条件，回到祖国的怀抱中，为祖国的核d事业鞠躬尽瘁，让人动容。

而大家不知道的是，在当今的中国也有这样的英雄，主动放弃自己在国外的一切，突破外国对他的封锁，历尽千辛万苦回到祖国，用自己的学识为祖国做贡献，他的名字就叫做尹志尧。

说起尹志尧大家并不熟悉，但相比大家对于国产刻蚀机并不陌生，大家对于华为手机所使用的麒麟芯片并不陌生，而以上这些便和尹志尧有着难以割开的联系。

尹志尧作为半导体材料方面的专家，在美国微软以及lam研究所工作了十几年，但他在年近60的时候突然选择了回国，这其中有很多方面的原因。

家庭中的爱国主义教育对尹志尧影响深远

尹志尧于1944年出生在北京，他的家庭对他以后的成长有着很大的影响，首先是对教育的注重，因为尹志尧的祖父与父亲都曾是留洋海外的学习，他们的家庭传统一向以来都很重视孩子们的教育。

在尹志尧长大之后，家里人很支持他前往海外去进行深造，这也为后来尹志尧走上研究的道路提供了很重要的基础。另一方面，是祖父与父亲从小对他进行了很深刻的爱国教育。

在上世纪40年代的中国，在很多方面都是难以和国外相媲美的，在那个年代很多前往海外求学的学子他们的目标就是定居在海外。然而尹志尧的祖父与父亲并不是这样，他们认为求学便是为了报效祖国。

如果不热爱自己的祖国，学有所成后不回到祖国来，学习也就失去了一些意义，在这样的观念与实际行动的影响下，尹志尧从小便树立了报效祖国的信念，爱国主义的精神深埋在他心中。

尹志尧的求学之路，一步步成为半导体材料专家

尹志尧的求学之路还是比较漫长的，他求学的时间很长，他真正开始接触微软以及lam研究中心的半导体材料研究的时候已经是1984年了，那时候的尹志尧已经是40岁整了。这和他跌跌撞撞的求学路有很大的关系。

最开始尹志尧是在北京第四中学学习，在此期间尹志尧的学习成绩很好，而且他个人对于物理和化学有着浓厚的兴趣，于是在他上大学的时候他选择报考了中国科学技术大学的物理系。

大学的时光很快过去，毕业后的尹志尧找到了一份工作，供职于兰州物化学所，在工作期间他积累了很多实践 *** 作的经验，他对化学的兴趣日渐提升。

在家人的支持下他考取了北京大学化学系的硕士学位，在1980年毕业后，他选择和父亲祖父一样去海外拓展一下自己的眼界，于是他申请了加利福尼亚大学洛杉矶分校。

在成功通过申请后，他开始了自己的留学生涯，并成功获得了物理化学博士学位。在博士毕业后，尹志尧还没有决定自己的去向时，微软公司率先向他伸出了橄榄枝，邀请他前往微软工作。

在美国的尹志尧被当时兴起的电脑以及半导体材料所吸引，当时国内尚未开始对这类方面的研究，于是他决定留在美国lam研究所研究半导体材料。

并在工作间隙学习有关电脑相关的技术知识，就这样他开始了在美国十几年的打拼，但在尹志尧的内心中依旧响彻着父亲曾经对他说的话。

在回国与留在美国中间的抉择

在美国的十几年他见证了半导体产业一步步发展起来，而lam所出产的产品也在他们的努力下成为了全球其他公司所产产品不可匹敌的存在，这家企业在短短的十几年内建立了一个庞大的帝国。

而这个时候的中国，有关半导体研究的产业刚刚起步，中国也一直未能攻克刻蚀机（用于处理敏感材料的一项关键技术）的技术难题，尹志尧内心的声音又响起来了。

在美国是自己已经拼搏十几年所获得一切，在大洋的另一边是自己心心念念的祖国，而且现在正在经历着被西方国家卡着技术脖子的时刻，在这个时刻，尹志尧做下了他一生以来最重要的决定。

他带领自己的技术团队回国，这时的他已经60岁了，本可以在美国享受着高额的福利待遇，但他选择了和祖父、父亲一样的道路，回到祖国去，用自己的学识来报效祖国。

带领技术团队突破技术难关，成功研制国产刻蚀机

2004年，尹志尧带领着自己技术团队的15人一起回到了中国，美国对于知识产权的监管十分严苛，任何关于电子软硬件的设备与图纸都不让从美国带走。这也成为了尹志尧团队回国后的一个重要难题，没有任何基础，他们要从零开始。

不过经验丰富的尹志尧凭借着多年来在大脑中所储存的专业知识，以及自己满满的一腔报国热情，很快关于国产刻蚀机的研究就有了进展。

十几年如一日，尹志尧和他的团队日夜兼程，他们要用十几年的时间来走西方国家几十年乃至半个世纪的路程，难度之大可想而知。不过天佑华夏，在奋战了十五年后，中国的国产刻蚀机研发成功。

我们打破了西方国家对我们的技术封锁，我们国家在半导体制造领域真正站起来了，这一切都离不开尹志尧的贡献。而尹志尧所要做的并没有结束，这仅仅是一个开始。

他在上海创办了中微半导体设备公司，将我们所实现的技术突破在生产上体现出来，中国人不再需要看西方人的脸色。此外，尹志尧还大力支持国内技术产业的发展，例如华为的麒麟芯片与鸿蒙系统，在技术研发的过程中尹志尧的公司就提供了很大的技术支持。

他想通过自己的力量实现为国家发展助力。即使不再年轻风华正茂，但是想要拼搏的精神不会因为年龄的增长而减弱，为祖国抛头颅洒热血的信念也不会因为身穿洋装而动摇。

半导体制造设备和材料是半导体行业最上游的环节。目前来看，集成电路设备制造是中国芯片产业链中最薄弱的环节。经过20多年的追赶，中国与世界在芯片制造领域仍有较大差距。虽然中国在该领域整体落后，但刻蚀机方面已在国际取得一席之地。

全球半导体设备市场的后起之秀

随着近些年 社会 对集成电路的重视和大批海外高端人才的回归，我国的集成电路在这几年出现了飞速的发展。在IC设计（华为海思）、IC制造（中芯国际）、IC封测（长电 科技 ）、蚀刻设备（中微半导体）上出现了一批批优秀的企业。

1、半导体设备

我们的主角中微半导体所在的领域就是半导体设备细分行业，这个行业主要有两种半导体设备，一是光刻机，一个是刻蚀机。中微是以刻蚀机为主要设备的供应商，去年12月公司自主研制的5nm等离子体刻蚀机正式通过台积电验证，将用于全球首条5nm制程生产线。

芯片，这个从前被戏称为：除了水和空气，其他都是进口的行业。最近中美贸易战的焦点就是在芯片领域，美国政府对华为的封锁就是下令美国供应商没有经过国会批准不准买给华为芯片。这也是我们非常气愤的地方，为什么中微半导体有了最先进的设备还是会受人制肘呢？

主要是我国的短板在于光刻机，与国外先进技术有非常大的差距。为什么刻蚀机技术那么好，不能弥补这个短板吗？这就是光刻机和蚀刻机的不同，有一部分人把蚀刻机与光刻机搞混。其实两者的区别非常的大，光刻机是芯片制造的灵魂，而蚀刻机是芯片制造的肉体。

光刻机把电路图投影到覆盖有光刻胶的硅片上面，刻蚀机再把刚才画了电路图的硅片上的多余电路图腐蚀掉。光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案（或者没有图案）的部分，留下剩余的部分就是集成电路。所以说这是两个过程要用到的设备，而且这两个过程是连续的。

我国光刻机的最高水平是上海微电子的90nm制程，世界顶尖的光刻机是ASML的7nm EUV光刻机，ASM已经开始研制5nm制程的光刻机。相对来说，我国在光刻机制造领域与国际先进水平有很大的差距，高端光刻机全部依赖进口。只能说我国的刻蚀机技术领先，中微半导体的介质刻蚀机、硅通孔刻蚀机位于全球前三。但是在整个产业链的产能和技术上，与一些大型的企业差距非常的大，所以在中美贸易战中显得很吃亏。

那我们说完了中微半导体这个单独的行业领域，现在放眼整个行业，来看看半导体设备到底在这个行业中扮演者什么角色？

2、半导体产业

半导体的发展是越来越集成化，越来越小。从早期的电子管到现在的7nm器件，一个小小的芯片上需要有几百个步骤和工艺，显示出高端技术的优越性。也正是这样的行业特点，导致整个行业非常依赖技术的创新。而半导体设备是制作芯片的基石，没有这一块芯片不可能出现。

可以看到虽然产值低，但是缺这个还真的没办法发展下游。这也是贸易战在芯片领域为什么大打出手的原因，没有先进的技术，很难发展非常广大的信息系统。可以说这一行创造的价值并不高，但是不能缺少，是高端技术的积累。

大国重器：7nm芯片刻蚀机龙头

在技术含量极高的高端半导体产业中，能与美欧日韩等国际巨头同台较量的中国企业凤毛麟角，而中微半导体是其中一家。中微半导体是一家以中国为基地、面向全球的高端半导体微观加工设备公司，主要从事半导体设备的研发、生产和销售。而要了解中微这家公司，先不得不介绍一下公司创始人尹志尧。

尹志尧是一个颇具传奇色彩的硅谷技术大拿。

1980年赴美国加州大学洛杉矶分校攻读物理化学博士，毕业后进入英特尔中心研究开发部工作，担任工艺程师；1986年加盟泛林半导体，开发了包括Rainbow介质刻蚀机在内的一系列成功的等离子刻蚀机，使得陷入困境的泛林一举击败应用材料，跃升为全球最大的等离子刻蚀设备制造商，占领了全球40%以上的刻蚀设备市场。

以此同时，泛林与日本东京电子合作，东京电子从泛林这里学会了制造介质等离子体刻蚀机，复制其Rainbow设备在日本销售，后来崛起为介质刻蚀的领先公司。

1991年，泛林遭老对手美国应用材料挖角，尹志尧先后历任应用材料等离子体刻蚀设备产品总部首席技术官、总公司副总裁及等离子体刻蚀事业群总经理、亚洲总部首席技术官。

为了避免知识产权风险，尹志尧从头再来，用不同于泛林时期开发的技术，研发出性能更好的金属刻蚀、硅刻蚀和介质刻蚀设备，应用材料再次击败泛林，重返行业龙头地位，到2000年，应用材料占据了40%以上的国际刻蚀设备市场份额。

目前全球半导体刻蚀设备领域三大巨头——应用材料、泛林、东京电子，都与尹志尧的贡献密切相关。

2004年8月，已年届六旬的尹志尧带领15名硅谷资深华裔技术工程师和管理人员回国，创立了中微半导体，并在短短数年之间崛起为全球半导体设备领域的重要玩家。

中微从2004年创立时，首先着手开发甚高频去耦合的CCP刻蚀设备Primo D-RIE，到目前为止己成功开发了双反应台Primo D-RIE，双反应台Primo AD-RIE和单反应台的Primo AD-RIE三代刻蚀机产品，涵盖65nm、45nm、32nm、28nm、22nm、14nm、7nm到5nm关键尺寸的众多刻蚀应用。

从2012年开始中微开始开发ICP刻蚀设备，到目前为止己成功开发出单反应台的Primo nanova刻蚀设备，同时着手开发双反应台ICP刻蚀设备。公司的ICP刻蚀设备主要是涵盖14nm、7nm到5nm关键尺寸的刻蚀应用。

这里面看起来是几个似乎不起眼的数据，但里面蕴含了满满的技术含量。而中微到底是否掌握了5nm刻蚀技术，一时间众说纷纭。如今，中微半导体与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起，组成了国际第一梯队，为全球最先进芯片生产线供应刻蚀机。

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