微电子行业 光刻工艺对身体有什么危害?

微电子行业 光刻工艺对身体有什么危害?,第1张

会有一些危害影响,剧毒不至于,但是净化间本身会缺氧,无尘,会降低人的抵抗力,长期缺氧可能会影响记忆力等。

光刻掩膜版和衬底制作的工艺

单晶硅片(衬底)制作工程:无毒,但是在把硅柱切割成硅片的时候,会有很多硅尘出现,如果长期在切割部门工作,比如说工作10年以上,很容易得一种叫作硅肺的病。

Wafer FAB:大量存在一些有毒和易爆的物质,如果磷,砷,氯气(有毒)和甲烷,氢气(易爆),还有以下腐蚀性很强的物质,比如HF,浓硫酸等等。但是目前的fab对于这些物品的控制是十分严格的,不会像说的那样恐怖。

这就是,那些能看到的危险根本就不是危险,人总是想尽一切办法去控制它。倒是我们生病的吃穿住行的东西,可能在慢慢影响我们的健康,而我们却不知道。FAB里最大的问题有两个:一个是对环境的污染比较严重,所以处理废水废气比较麻烦。

希望中国的fab都能做到绿色环保;还有一个是辐射,大型的离子加速产生强大的辐射,对于做工艺的人员来说问题不大,有很厚的钢板挡在机器前面,主要是设备工程师或者技术员,一定要注意辐射对健康的影响。

1、污染肯定有。2、半导体厂主要生产半导体原材料,比较高纯度的硅,在提炼硅的时候,可能存在空气和水污染。空气污染主要来源于在处理过程中挥发出来的酸性气体,水污染除了有加工使用的化学物质外,还可能带来重金属的污染。3、芯片厂主要是光刻、封装这块。可能存在的污染也包括空气和水两部分,相对来说,光刻这块水污染的可能性更大一些,而封装这块,由于存在电镀,主要以空气、水污染为主。4、污染大小关键要看企业环保控制力度大小,我参观过一些半导体和芯片封装企业,他们外部看到的污染情况,其实远比一般企业(比如机械加工企业)要小,无论是噪音,空气还是水这块。原因是半导体产品的价值含量很高,特别是光刻这块,小小一盒半导体芯片(类似大号光盘盒子一样)可能就价值几十万上百万。5、辐射污染,如果你后面不是直接挨着配电房的话,应该问题不大。如果挨着的,辐射污染也可能有。因为半导体产业这块,用电很大,而辐射的大小其实跟用电有很大关系。世界上最大型的半导体企业,比如美国的德州仪器(TI)公司,就把生产企业安排在远离人群居住的地方,主要也是污染的原因,可以想象,这种企业潜在的污染还是大的。


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