请问半导体工艺废气如何处理？

半导体废气处理废气介绍：由于半导体工艺对 *** 作室清洁度要求极高，通常使用风机抽取工艺过程中挥发的各类废气，因此半导体行业废气排放具有排气量大、排放浓度小的特点。废气排放也以挥发为主。这些废气主要可以分为四类：酸性废气、碱性废气、有机废气和有毒废气。废气危害：半导体制造工艺中产生的废气如果没有经过很好的处理进行排放，将造成严重的问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，也会成为半导体制造中AMC污染的重要来源。处理方法：依据这些废气的特性，在处理上采用水洗、氧化/燃烧、吸附、解离、冷凝等方法，针对不同污染物，可采取以下综合处理方法：1.一般排气系统 2.酸性、碱性废气处理系统 3.有机废气处理系统

半导体酸碱废气处理方法

半导体行业酸碱废气处理通常采用液体喷淋法，又称化学洗涤法。因液体自身具有的溶解特性，可以更好地捕捉沉降，溶解去除污染物，而达到大气排放标准，故喷淋法是半导体行业酸碱废气治理普遍采用的主要处理方法。

半导体有机废气处理方法

半导体行业有机废气处理方法，通常先用沸石转轮对VOCs进行吸附浓缩之后，再用直接燃烧法进行销毁，废气净化率达到97%以上。

直接燃烧又称为直接火焰燃烧，它是把VOCs可燃组分直接烧掉，因此该方法适用于净化可燃有害组分浓度较高的废气，或者净化有害组分燃烧时热值较高的废气；多种可燃气体或多种溶剂蒸气混合在废气中，只要浓度值适宜，也可以直接燃烧。如果可燃组分的浓度高于燃烧上限，可以混入空气后燃烧；如果可燃组分的浓度低于燃烧下限，则可以加入一定数量的辅助燃料如天然气等，维持燃烧。

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酸碱废气是电子、化工、电镀、医药等行业在机械加工过程中产生的无机废气，直接排放会对人体健康及生态环境造成危害。那么，酸碱废气怎么处理？格林斯达环保公司为您介绍几种主要有效的酸碱废气处理方法如下：

酸碱废气如何处理？

酸碱废气处理在工业废气处理中是比较常使用的废气处理。酸性废气的成分一般是硫化氢、氯气、二氧化碳、硫酸、盐酸、硝酸等酸性气体；碱性废气是氢氧化钠、氢氧化钙、氢氧化碳、氨气这些碱性成分，酸碱废气处理的过程中需要加入酸性药剂或者碱性药剂跟要处理的废气对象进行酸碱中和化学反应,达到废气净化的效果。

酸碱废气治理方法有哪些？

酸碱废气治理方法有两种，一种是使用碱液对酸性废气进行处理，一种是使用酸液对碱性废气进行处理。

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