集成电路半导体车间工厂需要布置无尘车间?

集成电路半导体车间工厂需要布置无尘车间?,第1张

集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室,该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室,集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备,如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器,那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况,实现产品生产与监督智造的智能体验。例如,当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时,我们可以及时通知相应车间的负责人,并采取针对性的措施降低颗粒浓度,以达到安全可靠的标准,这非常有利于产品的安全生产,为客户提供可靠的高质量产品。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备,不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级,根据不同需要增加或减少控制终端,还可以实现7*24实时远程自动监测,通过RJ45网络接口、WiFi、485(moudbus)等,将数据送给PC终端,显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准(JIS)要求标定,专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

高效空气过滤器主要针对过滤0.3μm以下的空气悬浮颗粒, 广泛应用于电子、半导体、精密机械、制药、医院、均经过严格测试。食品等行业中对洁净度要求较高的民用或工业洁净场所的未端过滤。高效空气过滤器一般应用半导体制造工场、原子力研究中心、无尘室、层流设备、工作台等其他要求超高洁净度的场合。

高效空气过滤器包括有隔板高效空气过滤器和无隔板高效空气过滤器,有隔板高效空气过滤器包括GK(有隔板高效空气过滤器),GKW(耐高温高效空气过滤器),GKA(耐高湿高效空气过滤器);无隔板高效空气过滤器包括GKYW(组合式组合式高效空气过滤器),GKYS(无隔板高效空气过滤器),GKYC(液槽无隔板高效空气过滤器),GKYL(超低阻无隔板高效空气过滤器),GKYD(刀架式无隔板高效空气过滤器),GKUL(0.1um超高效空气过滤器)


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