半导体应变片的特点

一般的应变片，不管是金属应变片，还是半导体应变片，都是基于材料的压阻效应——应力使电阻发生改变的现象来工作的。（另外，也有采用压电效应来工作的应变片。）半导体应变片的特点：在较小功耗下具有较高的灵敏度和较大的电阻变化。金属应变片的特点：温度稳定性较好，线性度高，应变范围大（可达到4%，而半导体应变片只能达到0.3%），使用方便（可贴敷在弯曲表面上）。

半导体应变片最突出的优点是灵敏度高，这为它的应用提供了有利条件。另外，由于机械滞后小、横向效应小以及它本身体积小等特点，扩大了半导体应变片的使用范围。其最大的缺点是温度稳定性差、灵敏度离散程度大（由于晶向、杂质等因素的影响）以及在较大应变作用下非线性误差大等，给使用带来一定困难。

电阻应变片是利用金属合金体形变导致电阻变化的原理制成的形变传感器，半导体应变片是利用半导体结构形变导致载流子密度变化制成的形变传感器。电阻应变片的优点是变化率稳定，受温度影响小的优点，但是，它的缺点是变化值很微小，检出比较困难；半导体应变片的优点是灵敏度高，输出值电平高，但是，它的稳定差，受温度影响大。

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