什么是射频电源？

射频电源射频电源是等离子体配套电源,它是由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中.现代的射频电源有了长足发展，由八十年代的电子管电源一步步的发展成现在的晶体管射频电源，功率由瓦、百瓦、千瓦、到兆瓦，频率有2Mhz/13.56Mhz/27.12Mhz/40.68Mhz等，而应用也从以前的真空领域扩展到其他领域，半导体、美容等。等离子体【等离子体】是由部分电子被剥夺后的原子及原子被电离后产生的正负电子组成的离子化气体状物质，它是除去固、液、气外，物质存在的第四态。等离子体是一种很好的导电体，利用经过巧妙设计的磁场可以捕捉、移动和加速等离子体。等离子体物理的发展为材料、能源、信息、环境空间，空间物理，地球物理等科学的进一步发展提新的技术和工艺。看似“神秘”的等离子体，其实是宇宙中一种常见的物质，在太阳、恒星、闪电中都存在等离子体，它占了整个宇宙的99%。现在人们已经掌握利用电场和磁场产生来控制等离子体。例如焊工们用高温等离子体焊接金属。等离子体可分为两种：高温和低温等离子体。以上提到的是高温等离子体。现在低温等离子体广泛运用于多种生产领域。例如：等离子电视，婴儿尿布表面防水涂层，增加啤酒瓶阻隔性。更重要的是在电脑芯片中的蚀刻运用，让网络时代成为现实。高温等离子体只有在温度足够高时发生的。太阳和恒星不断地发出这种等离子体，组成了宇宙的99%。低温等离子体是在常温下发生的等离子体（虽然电子的温度很高）。低温等离子体体可以被用于氧化、变性等表面处理或者在有机物和无机物上进行沉淀涂层处理。

射频电源(RF generator)是用来产生射频电功率的电源，可以用来加热。

射频电源与是等离子体工业设备上的驱动源，主要用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。

世界上主流品牌是AE、MKS、COMDEL等；功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W；射频电源替代高频电源的优势是灵活的改变匹配角改变放电电压。

一套1KW的射频电源通过匹配器修改匹配角后的输出电压可以达到6KV，在放电稳定后又通过自动调节匹配角降低放电电压。

该系统可应用于半导体工业。包括刻蚀、RIE、平行板 、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统。

自动匹配器采用独特的“梯度下降高速调谐算法”，这种高速调谐算法能在接近调谐点时逐渐减缓调节速度。

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