国内软件:PDSOFT
国外软件:PDMS,PDS,SMARTPLANT等
其中PDSOFT基于AUOTCAD平台,为图形驱动。有数据库、图形库、支吊架库等,我用了好多年了,我做了图形库,数据库,定制各种模板。
PDMS全是数值化驱动,所有信息为数值(接触过)。
PDS感觉还可以了,习惯就好了(使用过)。
SMARTPLANT我单位买了,以后还得抓紧学习。
1、Program Files文件夹是应用软件文件夹,比如你需要安装软件,他的默认安装路径就是Win10系统Program Files文件夹了。如果对此有怀疑的话可以去安装一个软件试试哦,Program Files文件则是程序文件。
2、当然根据用户的系统不一样Win10系统Program Files文件夹里面的文件也是不同的,一般初始的windows10系统中的Program Files文件夹包括:
VPE 是数据仓库,可以存储 PDMS PDS OFFICE里面的数据的仓库,而PID软件又可介入到各软件中去, 最后还能与PDMS 进行二三维校验,暂时没破解的 VPE需要ORACLE数据库,而数据库又要补丁,且还需中间的文件,装起来很复杂!
数据安全是PDMS的短板,因为整个数据库都是共享出来的,很难保证不被复制。
不过可以通过域管理来控制可访问的权限,这样能提高一点安全性。但也是防君子不防小人。
PDMS120之后的版本提高了安全设置,可以设置数据被拷贝后过一段时间就失效。
PDMS(polydimethylsiloxane,聚二甲基硅氧烷)在室温下是一种无色、粘稠的液体,因此被称为硅油,是软光刻工艺中常用的聚合物。PDMS是一种廉价、安全和无毒的聚合物,具有良好的透光性和高化学惰性。它是一种具有低杨氏模量的高等级d性体。由于PDMS既不粘附在AZ4620上,也不粘附在晶圆上,我们在实验中利用PDMS的优良特性,将平面微透镜阵列结构反转并转移到PDMS上,产生一个柔性图案。
倒模工艺开始之前,必须准备好PDMS溶液。由于PDMS在室温下不能固化,所以要添加特定的固化剂。PDMS溶液是通过将PDMS预聚物和固化剂以10:1的质量比混合制备的。在充分搅拌后,混合物中出现大量的气泡,并在真空桶中抽空(也可放置40分钟以上),直到混合气体完全被抽走。然后将先前准备好的平面微透镜阵列模板连接到离心机上,将少量的PDMS溶液慢慢倒在微透镜阵列上,让其慢慢散开并去除任何气泡,相应调整离心机的速度和时间。为了获得厚度均匀的PDMS网板(使用较厚的PDMS网板是为了防止在随后的负压过程中薄膜下垂),这里再次使用了多次旋涂的方式。在涂抹单层后,让薄膜静止约1分钟,然后进行软烘,在加热前寻找气泡,如果气泡没有完全排出,在加热过程中就会形成气泡。一旦旋涂过程完成,薄膜就在65℃的烘箱中烘烤2小时。最后去除薄膜,得到一个厚度约为450微米的柔性PDMS模板,其凹陷的微透镜阵列与微透镜阵列的形状相反
首先依次组装主体和可拆卸式盖子,然后将模具安装在防震台上。然后将柔性PDMS阴性膜连接到加工成顶盖的球状缺陷的顶部,然后放置并连接微流注射腔室。连接一个真空泵进行抽气,此时,柔性PDMS模板在负压下下沉,并与盖子紧密贴合,形成我们需要的弧度。这里的微孔阵列设计允许在PDMS网板上施加更均匀的力,使负压均匀地分布在网板上,并使薄膜拉伸的各向异性降到最低。负压稳定后,毛细管与微流控注射泵(LSP04-1A,朗格恒流泵有限公司)连接,进行粘合。通过微流控注射室的粘合孔和通气孔固定一定量的过量,以有效清除可能存在的空气和杂质。最后,整个装置被置于紫外线设备下,一旦模塑材料固化,它就被脱模,以获得弯曲的微透镜阵列。
设计中选择的成型材料是NOA81(Norland Optical Adhesive 81,Norland Products Inc),它具有优良的光学透光性,在可见光波长中保持90%以上的透光率,并且具有高度的耐溶剂性,完全固化后硬度不脆。由于其d性,该结构能够缓解由振动或环境温度的极端变化引起的应力,从而确保固化的复眼结构的长期性能。此外,在紫外光下的固化速度极快,最快的紫外固化在几十秒内完成,这对保护紫外光刻设备非常重要。
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