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半导体光刻技术,什么是半导体光刻技术
光刻技术主要应用在微电子中。它一般是对半导体进行加工,需要一个有部分透光部分不透光的掩模板,通过曝光、显影、刻蚀等技术获得和掩模板一样的图形。先在处理过后的半导体上涂上光刻胶,然后盖上掩模板进行曝光;其中透光部分光刻胶的化学成分在曝光过程中
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使
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半导体EKC溶液化学名称
ekc是光阻液化学品。光阻液主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。光阻液种类: 光阻液分为正光阻及负光阻两种。1. 正光阻: 光阻本身难溶于显影液,曝光后解离成小分子,
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半导体EKC溶液化学名称
ekc是光阻液化学品。光阻液主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。光阻液种类: 光阻液分为正光阻及负光阻两种。1. 正光阻: 光阻本身难溶于显影液,曝光后解离成小分子,
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化学EKC的全称是什么
羟基多巴胺类有机溶剂。EKC化学试剂为羟基多巴胺类有机溶剂,一般包含羟胺或其衍生物、季胺化合物的至少一种极性有机溶剂的组合物。有机溶剂是一大类在生活和生产中广泛应用的有机化合物,分子量不大,它存在于涂料、粘合剂、漆和清洁剂中。经常使用有机溶
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半导体EKC溶液化学名称
ekc是光阻液化学品。光阻液主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。光阻液种类: 光阻液分为正光阻及负光阻两种。1. 正光阻: 光阻本身难溶于显影液,曝光后解离成小分子,
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使
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什么叫做光阻?
光阻,亦称为光阻剂,是一个用在许多工业制程上的光敏材料。像是光刻技术,可以在材料表面刻上一个图案的被覆层。光阻有两种,正向光阻(positive photoresist)和负向光阻(negative photoresist)正向光阻是光
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半导体废气怎么处理?半导体废气治理有哪些好办法?
√ 楼主您好,根据您提出的问题,下面为您做详细解答:半导体行业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量有机物成分,在工艺过程中,这些有机溶剂大部分通过挥发成为废气排放。其废气的主体是VOCs,同时废气中还混合了HCl、氨、H
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丙酮清洗的作用是什么?
用丙酮清洗可以溶解物质,并使物质保持在溶液中的状态。长久以来,丙酮作为常见的化学物质被广泛应用于某些消费产品的生产和制造。然而不幸的是,由于不良厂商同时还会在产品中加入一些有害物质,如:邻苯二甲酸酯、醛类(甲醛乙醛)、苯、甲苯等,致使丙
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使
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化学EKC的全称是什么
羟基多巴胺类有机溶剂。EKC化学试剂为羟基多巴胺类有机溶剂,一般包含羟胺或其衍生物、季胺化合物的至少一种极性有机溶剂的组合物。有机溶剂是一大类在生活和生产中广泛应用的有机化合物,分子量不大,它存在于涂料、粘合剂、漆和清洁剂中。经常使用有机溶
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半导体EKC溶液化学名称
ekc是光阻液化学品。光阻液主要由树脂(resin),感光剂(sensitizer),溶剂(solvent)三种成分混合而成。光阻液种类: 光阻液分为正光阻及负光阻两种。1. 正光阻: 光阻本身难溶于显影液,曝光后解离成小分子,
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使
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半导体工艺涂完胶为什么不能立马显影
半导体工艺涂完胶不能立马显影是因为需要曝光过程。根据查询相关公开信息显示,光刻工艺是半导体元件制作中的常用工艺,通过在半导体基片(如硅晶圆)表面涂敷一定厚度的光刻胶,然后进行曝光,才能显影,以对基片表面的材料做图形化处理。半导体封装工序中,
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使
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半导体光刻工艺之去胶
经过刻蚀或者离子注入之后,已经不再需要光刻胶作为保护层,因此可以将光刻胶从硅片的表面除去,这一步骤简称为去胶。在集成电路工艺中,去胶的方法包括湿法去胶和干法去胶,在湿法去胶中又分为有机溶剂去胶和无机溶剂去胶。 使用有机溶剂去胶,主要是使