日前，一维和多维惯性及无线传感器制造商SensorDynamics正为其紧凑型QFN40封装组合传感器系列添加一款产品：拥有六个自由度（6DoF）的新型微机械SD746组合传感器，包括分别用于检测角速

皮秒激光器的原理及微机械加工应用 超短激光脉冲的激光切除的优点在很多应用中得到了证实，直到最近也没有在工厂的地板上发现这些应用的工业副产物。在工业应用中，除去质量因素以外，可重复生产性和每个零件的成本

引言单晶硅， 作为IC、LSI的电子材料， 用于微小机械部件的材料，也就是说，作为结构材料的新用途已经开发出来了。其理由是， 除了单晶SI或机械性强之外，还在于通过利用仅可用于单晶的晶体取向的各向异性