记者近日从中国科技大学获悉，中国科学院院士郭光灿领导的中科院量子信息重点实验室在基于碳纳米管的纳米机电系统（NEMS）方面取得系列重要进展。该实验室固态量子芯片组郭国平研究组与清华大学姜开利研究组等合

现在微机电系统已经远远超越了“机”和“电”的概念, 将处理热、光、磁、化学、生物等结构和器件通过微电子工艺及其他一些微加工工艺制造在芯片上, 并通过与电路的集成甚至相互间的集成来构筑复杂微型系统.1

在对微纳机电系统（micronano electro me-chanical system， MEMSNEMS）结构的特性参数进行测量和MEMSNEMS可靠性进行测试的过程中，常要求对结构表面

MEMSNEMS在全球蓬勃发展，中国大陆作为一个重要的市场也必然有迅速的发展。本站首次对国内知名的MEMSNEMS企业做了统计，以对行业发展状况进行初步的分析。本次统计了28家大陆MEMS研发企业

1.引言微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段。本文分析了微纳机电系统的发

NEMS或将引发半导体组件微型化的下一个战争据新兴芯片技术领域的专家表示，纳米机电系统(nanoelectromechanical systems，简称NMES)虽然目前还默默无闻， 但在未来可能成