1 引言标准的数字调谐滤波器主要由谐振器、PIN二极管开关电容阵列、数字接口PIN二极管驱动电路组成。数字控制及驱动电路根据8位二进制码生成24路高低电平（由外加偏置电压决定）来控制PIN二极管的导通

近年来电子信息系统的迅速发展，向体积小型化、高性能化、低价格化倾向。印制电路板的高密度化、薄型化、高速化、低成本化的要求越来越迫切。为此，要制作高密度的电路图形，就需要具有高分辩率的光敏抗蚀剂。研制与