设计了一款基于MEMS陀螺和MEMS加速度计的低成本微惯性导航系统。采用“四元数”法进行姿态计算，通过比力变换、积分运算确定栽体的速度、位置。分析样机运行结果可知，静态运行15 s，姿态误差最大为1．

据市场数据统计未来五年OSAT市场将持续保持增长，这主要是受益于MEMS巨大的出货量，MEMS器件有望成为OSAT厂商的下一个增长点，同时传感器产业都将面临着其原始功能以外的两大主要挑战。据麦姆斯咨询

据麦姆斯咨询报道，MEMS器件领先供应商Sensera将其MEMS技术应用到了生物工程领域的新应用。该公司的MEMS技术被Harvard University（美国哈佛大学）用于“打造”微流控器件，以

MEMS器件体积小，重量轻，耗能低，惯性小，谐振频率高，响应时间短。MEMS系统与一般的机械系统相比，不仅体积缩小，而且在力学原理和运动学原理，材料特性、加工、测量和控制等方面都将发生变化。在MEMS

你有没有想过你的iPhone手机由多少个组件构成？其中，有加速度计和陀螺仪来检测手机的运动；有光传感器、温度传感器、压力传感器和湿度传感器来感知手机的环境；还有用于连接的RFID、蓝牙和WiFi；以及

硅微加速度传感器是MEMS器件中的一个重要分支，具有十分广阔的应用前景。由于硅微加速度传感器具有响应快、灵敏度高、精度高、易于小型化等优点，而且 该种传感器在强辐射作用下能正常工作，使其近年来发展迅速

电子发烧友网讯：随着便携消费电子的走热，MEMS器件得到了爆发式的增长，苹果iPhone的热销更是把MEMS器件市场推到了新的高度。1、MEMS麦克风：2012年MEMS麦克风出货量估计达到20.6亿

意法半导体的传感器产品包括MEMS（微机电 传感器，包括加速度计、陀螺仪、数字罗盘、惯性模块、压力传感器和麦克风）、温度传感器和触摸传感器。 到2012年，意法半导体已发售了20多亿件MEMS产品，引

电子发烧友网讯：近年来，随着消费电子领域的快速发展，MEMS器件正式进入了人们的视线。各大厂商这两年来纷纷推出众多的MEMS器件，MEMS涉及的产品领域极其丰富，大家所熟知的有MEMS加速度计、MEM

（1）MEMS压力传感器MEMS压力传感器，顾名思义是测量压力的。涉及到压力测量，提到最多的应用场景就是胎压测量，也就是测量轮胎充气程度。近几年，智能手机中的压力传感器也逐渐成为标配，主要用来测量大气