1 引言与传统的驻极体电容式麦克风相比，电容式MEMS麦克风具有以下优势：1）性能稳定，温度系数低，受湿度和机械振动的影响小;2）成本低廉;3）体积小巧，电容式MEMS麦克风的背极板和振膜仅有最小的驻

据报道，先进微型声学器件、音频处理及精确器件解决方案全球供应商及市场领导者楼氏电子，近日宣布推出新款智能麦克风IA-610样品，它将一颗全球领先的MEMS麦克风和一颗最先进的开放式数字信号处理器（DS