• MEMS加速度计在声学拾音器中的应用

    引言MEMS1 (微机电系统)利用专为半导体集成电路所开发的制造工艺设施实现生产制造。微机电结构的实现方法是通过在半导体基片上刻蚀特定的图形,来实现传感器单元或者可以移动零点几微米的机械执行器。MEM

    2022-8-5
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