• 压力传感器的过载保护实现

    本文利用有限元法,对牺牲层结构压阻式压力传感器d性膜片的应力分布进行了静态线性分析和非线性接触分析。通过这两种分析方法的结合,准确的模拟出过载状态下传感器的应力分布。在此基础上给出了压力传感器的一种结

    2022-8-5
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