引言传统的差动式电容角度传感器测量角度有限，动片与外界有直接的电气连接，其电极要分别从动片和静片引出。从动片引出电极通常采用轴承、卡子或者金属张丝的方法，在动片转动过程中，不但转轴之间存在摩擦，而且容

硅电容压力传感器是利用硅基材料， 应用电容原理， 采用MEMS 工艺制作的一类新型压力传感器。因其具有稳定性好，非线性和可靠性优越的性能被广泛用于工业控制和测量领域。但是差动电容式压力传感器的输出差动

随着差动式硅电容传感器广泛应用于各行各业中， 对差动电容信号的检测至关重要。文中提出基于CAV424电容检测芯片作为前置检测单元， 实现了电容压力传感器测量电路。该电路具有稳定性好， 抗干扰性强， 且