硅微电子技术的成熟使得在单个芯片中实现复杂结构的微电子机械系统成为现实，也给传感器的微型化提供了基础。同时采用了IC技术将信号处理和控制电路集成了到单个的芯片中，大大提高了传感器的性能并扩展了传感器的

引言通常在测控系统中，传感器是信息采集的重要装置，数据的采集全靠传感器，被誉为“神经触角”的它如何实现其网络化，也是当前的热点研究问题。当前大多数测控系统中，传感器多是采用有线方式，但是在一些特殊情况