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ASM启用功新的PowerFill外延技术的电源设备
ASM启用功新的PowerFill外延技术的电源设备ASM今天推出了其PowerFill(TM)的外延硅(Epi Si)沟槽填充工艺。新工艺可使带有掺杂物的外延硅深沟无缝隙填充。 PowerFill是
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ASM启用新的PowerFill外延技术的电源设备
ASM启用新的PowerFill外延技术的电源设备ASM InternaTIonal近日推出了其PowerFillTM的外延硅(Epi Si)沟槽填充工艺。新工艺可使带有掺杂物的外延硅深沟无缝隙填充