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    微纳机电系统发展特点及前景

    1.引言微机电系统(MEMS)和纳机电系统(NEMS)是微米纳米技术的重要组成部分，逐渐形成一个新的技术领域。MEMS已经在产业化道路上发展，NEMS还处于基础研究阶段。本文分析了微纳机电系统的发

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    2022-8-5
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