MEMS是多学科交叉的复杂系统，整个产业链涉及设计、制造、封装测试、软件及应用方案环节。MEMS产业链的上游负责MEMS器件设计、材料和生产设备供应，中游生产制造出MEMS器件、下游使用MEMS器件制

当前，美国、日本、德国、英国、俄罗斯等国家竞相发展MEMS产业。我国MEMS产业与世界的差距也不算太大，甚至某些方面还有自己的独创性贡献。近年来，投资迅猛，其发展势头值得期盼。那么，我国应该如何走出一