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RF MEMS开关
技术
低压驱动的RF MEMS开关设计与模拟
近年来射频微电子系统（RF MEMS）器件以其尺寸小、功耗低而受到广泛关注，特别是MEMS开关构建的移相器与天线，是实现上万单元相控阵雷达的关键技术，在军事上有重要意义。在通信领域上亦凭借超低损耗、高
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