干式蚀刻技术_内存溢出

技术

MEMS惯性传感器干式蚀刻让传感器校准更省事

MEMS惯性传感器的晶圆蚀刻技术，可分成湿式与干式两种。采用干式蚀刻（Plasma Etching）的好处在于，由于其过程不含水分，较不易受到地心引力的影响，因此在传感器整体的精准度上，得以维持得很好

液晶屏升降器
2022-8-6
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MEMS惯性传感器干式蚀刻让传感器校准更省事