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基于石墨烯的中红外传感器器件解析
据麦姆斯咨询报道,美国耶鲁大学(Yale University)和巴塞罗那光子学研究所(ICFO)的研究人员合作开发了一款基于石墨烯的器件,或能制成在中红外光谱工作的新型微尺寸非制冷探测器。目前,在红
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基于MEMS微硅传感器制程的SENSA工艺
苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅传感器制程的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感芯片 MSP 系列产品中。此项关键核心技术的突破,将为国内以至全球的微硅压力传