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SENSA
技术
基于MEMS微硅传感器制程的SENSA工艺
苏州敏芯微电子成功研发面向 MEMS 微硅传感器制程的 SENSA 工艺。敏芯目前已经将此工艺应用于公司生产的微硅压力传感芯片 MSP 系列产品中。此项关键核心技术的突破，将为国内以至全球的微硅压力传
开心001
2022-8-6
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