在线测量_内存溢出

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利用多晶X射线衍射实现半导体结构在线测量

半导体制造中的大部分材料是多晶材料，比如互连线和接触孔。XRD能够将多晶材料的一系列特性量化。这其中最重要的特性包括多晶相(镍单硅化物，镍二硅化物)，平均晶粒大小，晶体织构，残余应力。直到现在，多晶X

毒鱼藤
2022-8-8
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利用多晶X射线衍射实现半导体结构在线测量