近日，由中科院长春光机所承担的国家重大科研装备研制项目“大型高精度衍射光栅刻划系统的研制”顺利通过验收。这标志着我国大面积高精度光栅制造中的相关技术已达到国际水平，结束了我国在高精度大尺寸光栅制造领域

1.前言为了满足大型光学系统对大口径高精度平面光学元部件的需要，环行抛光技术越来越广泛地应用到实际光学元部件的生产中。采用环行抛光技术(本文中主要涉及大玻璃校正盘修磨的单环行抛光机)加工的光学元部件可