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上腔室窗口温度对STI刻蚀工艺的影响

本文在浅沟槽隔离刻蚀过程中发现，当刻蚀腔室上石英窗口的温度超过85℃时，刻蚀终止出现在300mm晶圆的中心。我们认为刻蚀终止的原因是由于某些低挥发SiOxCly刻蚀产物再淀积。石英窗口温度低时，此产物

特叔
2022-8-9
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上腔室窗口温度对STI刻蚀工艺的影响