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MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计

基本原理和结构电容式压力传感器的基本结构如图1所示。式中：ε0为真空中的介电常数;t为绝缘层的厚度;εr为绝缘层的相对介电常数;g为零载荷时电容器两极板之间的初始距离;ω（x，y）为极板膜的中平面的垂

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2022-8-10
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MEMS硅膜电容式压力传感器的基本原理和结构设计