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    国内MEMS产业化仍然不够成熟

    作为中国最早做传感器的专家之一，上海传感器协会秘书长颜重光表示如今国内MEMS产业化仍然不够成熟，尤其是加工方面与国外存在着较大差距。颜重光指出，MEMS与机械类传感器相比，精度相对差一些，主要是由于

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    2022-8-10
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