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1 引言MEMS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是指将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的可批量制作的微型器件或系统。而MOEMS是 M

MEMS光开关的优势有发展动态简介摘要 本文介绍了基于MEMS(微电子机械系统)技术的光开关的技术优势及主要制造商情况，并概要分析了MEMS技术的应用领域。关键词 MEMS，MOEMS，光开关，表面