射频源_内存溢出

技术

射频源控制信号模拟器的设计与应用

熟悉微电子工艺设备的人都知道，射频源（RFGENERATER）是半导体工艺不可缺少的设备，其主要应用于等离子体干法刻蚀设备。其原理是刻蚀气体（主要是F基和C1基的气体）通过气体流量控制系统通进反应腔室

网页打不开是什么原因
2022-8-17
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射频源控制信号模拟器的设计与应用