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技术

采用MEMS技术制备的全硅法珀传感器

导读：近年来，微机电系统(MEMS)技术的发展，为光纤传感领域注入新活力，将其与光纤结合为高灵敏度压力测量提供可能。光纤MEMS法珀传感器具有高一致性、可大批量生产、性能优易稳定等特点。撰稿天津

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2022-9-28
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采用MEMS技术制备的全硅法珀传感器