利用电子细分,比如对20微米栅距的光栅尺进行200倍细分可得到01微米分辨率的光栅尺。但条件是光栅信号要足够的好,也就是示波器上显示的李赛圆要很圆。
另一种办法是减小栅距,比如将栅距减小到10微米,再进行200倍细分得到的便是005微米的分辨率。对于透射光栅,栅距减小则意味着衍射现象过重,信号质量变差。20微米栅距,正好是一个临界点。所以,一般对小于20微米的栅距,利用的是光的干涉方法而不采用透射方法。目前国内厂商,暂且还没有这项技术能够利用光的干涉方法来做光栅尺。
在计算光栅尺分辨率和测量步距时,可以使用:分辨率=栅距/细分倍频总和的方法。
光栅是在金属或玻璃尺上,制作的一系列条纹和狭缝,一个条纹和一个狭缝的宽度称为栅距,常见栅距20μm、40μm。
了解光栅尺,首先应该分清楚光栅尺栅距,信号周期、测量步距和分辨率的概念以及内在关系。
在单色仪焦长固定的前提下,光栅的刻画线越密,其测量范围越窄,但分辨率越高;相反,测量范围就越宽,但分辨率下降。
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