请问什么是掩膜版？用来干什么的？

掩膜版是制作掩膜图形的理想感光性空白板，通过曝光过程，这些图形的信息将被传递到芯片上，用来制造芯片。

掩膜版应用十分广泛，在涉及光刻工艺的领域都需要使用掩膜版，如IC（Integrated Circuit，集成电路）、FPD（Flat Panel Display，平板显示器）、PCB（Printed Circuit Boards，印刷电路板）、MEMS（Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统）等。

扩展资料：

待加工的掩膜版由玻璃/石英基片、铬层和光刻胶层构成。其图形结构可通过制版工艺加工获得，常用加工设备为直写式光刻设备，如激光直写光刻机、电子束光刻机等。

其中掩膜版图形数据由用户自行设计并提交，后续加工工艺由工程师完成。由于图形数据准备是掩膜版加工中的关键步骤，要求用户对所提交的版图文件仔细核对，确保图形正确性。以下将对用户较为关心的版图绘制问题作出具体说明。

一、实验目的

学习使用ENVI软件的遥感图像作裁剪功能，掌握规则和不规则形态遥感图像裁剪的基本 *** 作。

二、实验内容

运用ENVI的图像裁剪命令对全州县东山瑶族自治乡七宝坑研究区TM 影像作规则裁剪、不规则裁剪和掩膜处理。

三、实验要求

①对全州县东山瑶族自治乡七宝坑研究区TM 影像的规则分幅裁剪；②对全州县东山瑶族自治乡七宝坑研究区TM 影像的不规则分幅裁剪；③对全州县东山瑶族自治乡七宝坑研究区TM 影像的掩膜处理。编写实验报告。

四、技术条件

①微型计算机；②国际分幅124-42双牌幅TM影像；③ENVI软件；④ACDSee软件（ver.4.0以上）。

五、实验步骤

1.规则分幅裁剪

规则分幅裁剪是指裁剪图像的边界范围是一个矩形，这个矩形范围获取途径包括行列号、左上角和右下角两点坐标、图像文件、ROI 矢/量文件。具体 *** 作步骤如下：

（1）在ENVI主菜单栏中选择“File>Open Image File”，出现文件目录窗口，将12424双牌幅TM 影像数据调入“Available Bands List”窗口。

（2）在ENVI主菜单栏中选择“File>Save File As>ENVI Standard”，出现“New File Builder”对话框，如图15-1所示；选择【Import File...】按钮，出现“Create New File Input File”对话框，如图15-2所示。

（3）选中要截取的图像文件，选择【Spatial Subset】按钮，将出现“Select Spatial Subset”对话框，如图15-3所示。

图15-1“New File Builder”窗口

图15-2 “Create New File Input File”窗口

图15-3 “Select Spatial Subset”窗口

在“Select Spatial Subset”对话框中，选择“Image”按钮，d出“Subset by Image”对话框，可以通过输入行列数确定裁剪尺寸，按住鼠标左键拖动图像中的红色矩形框确定裁剪区域，或者直接用鼠标左键拖动红色边框确定裁剪尺寸及位置，单击【OK】按钮确定裁剪范围。

在“Select Spatial Subset”对话框中，选择【Map】按钮，d出“Spatial Subset by Map”对话框，可以输入左上角和右下角两点坐标来确定外边界矩形框。本次实验选择输入研究区坐标：E19525000～E19545000,N2845000～N2865000。

在“Select Spatial Subset”对话框中，选择【File】按钮，可以以另外一个图像文件范围为标准确定外边界矩形框；选择【ROI/EVF】按钮，可以以感兴趣区或者矢量外围最大矩形作为外边界矩形框。

（4）选择输出路径及文件名，单击【OK】按钮，完成规则分幅裁剪。

2.不规则分幅裁剪

图15-4 “SpatialSubset via ROI Parameters”对话框

不规则分幅裁剪是指裁剪图像的外边界范围是一个任意多边形，任意多边形可以是事先生成的一个完整的闭合多边形区域，可以是一个手工绘制的ROI多边形，也可以是ENVI支持的矢量文件。

（1）手动绘制感兴趣区（ROI）。

第一步，打开124-24双牌幅TM影像数据，并使其显示在“Display”中。

第二步，在“Image”窗口中选择“Overlay>Region of Interest”。在“ROI Tool”对话框中，单击“ROI_Type>Polygon”。

第三步，“Window”（绘制窗口）选择“lmage”，绘制多边形，点击鼠标右键结束。在ENVI主菜单中选择“Basic Tool>Subset Data via ROIs”，或者选择“ROI Tool>File>Subset Data via ROIs”，选择裁剪图像。

第四步，在“Spatial Subset via ROI Parameters”中（图15-4），设置以下参数：在“Select Input ROIs”（ROI列表中）选择绘制的ROI；在“Mask pixels outside of ROI”选项中选择“Yes”；在“Mask Background Value”对话框中输入0。

第五步，选择输出路径及文件名，单击【OK】按钮，裁剪图像。

（2）矢量数据生成感兴趣区。

第一步，在ENVI主菜单中选择“File>Open Vector File”，打开裁剪图像所在区域的全州县evf格式矢量文件，使全州县矢量文件出现在“Available Vectors List”对话框中，如图15-5所示。

第二步，在“Available Vectors List”对话框中，选择“File>Export Layerto ROI”，在d出的对话框中选择待裁剪影像，单击【OK】按钮。

图15-5“Availablo Vectors List”对话框

第三步，在“Export EVF Layer to ROI”选择对话框中，选择“Convert all record of an EVF layer to one ROI”，将所有矢量要素转成一个ROI，单击【OK】按钮。

第四步，在ENVI 主菜单中选择“Basic Tool>Subset Data via ROIs”，选择裁剪图像，在“Spatial Subset via ROI Parameters”中，设置以下参数：

在“Select InputROIs”列表中选择绘制的ROI；在“Mask pixels outside of ROI”选项中选择“Yes”；裁剪背景值“Mask Background Value”设为0。

第五步，选择输出路径及文件名，单击【OK】按钮，裁剪图像。

3.掩膜

（1）创建掩膜文件。

第一步，在ENVl主菜单中选择“File>Open Vector File”，打开裁剪图像所在区域的全州县evf格式矢量文件，使全州县矢量文件出现在“Available Vectors List”对话框中。

第二步，在ENVI主菜单中选择“File>Open Image File”，打开待裁剪影像，并使之在“Display”中显示出来。

第三步，在ENVI主菜单中选择“Basic Tool>Masking>Build Mask”，在“Select Input Display”中选择被裁剪文件所在的“Display”窗口，点击【OK】按钮，将会出现“Mask Definition”对话框（图15-6）。

图15-6“Mask Definition”对话框

第四步，在“Mask Definition”对话框中，选择“Options>Import EVFs”，选择已经导入的evf格式矢量文件，选择输出路径，点击【Apply】按钮完成掩膜文件的生成。

（2）运行掩膜计算实现图像裁剪。

第一步，在ENVI主菜单中选择“Basic Tool>Masking >Apply Mask”，在“Select Input File”中，选择待裁剪影像文件。

第二步，在“Select Mask Band”选项中，选择上一步生成的掩膜文件。

第三步，点击【OK】按钮输出裁剪结果，完成影像掩膜处理。

六、实验报告

（1）简述实验过程。

（2）回答问题：①ENVI有几种形态的图像裁剪？②ENVI图像掩膜处理有哪些步骤？③掩膜技术在遥感图像处理中有何用处？

实验报告格式见附录一。

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