MEMS是Micro-Electro-Mechanical System的缩写,中文名称是微机电系统。MEMS芯片简而言之,就是用半导体技术在硅片上制造电子机械系统,再形象一点说就是做一个微米纳米级的机械系统,这个机械系统可以把外界的物理、化学信号转换成电信号。
在整个大的信息系统里有点类似于人的感官系统,例如MEMS麦克风芯片相当于人的耳朵,可以感知声音;MEMS扬声器芯片相当于人的嘴巴,可以发出声音;MEMS加速度计、陀螺仪、磁传感器芯片相当于人的小脑,可以感知方向和速度;MEMS压力芯片相当于人的皮肤,可以感知压力;MEMS化学传感器相当于人的鼻腔,可以感知味道和温湿度。没有感知器官的人。
MEMS被认为是21世纪最有前途的技术之一,如果半导体微制造被视为第一次微制造革命,MEMS则是第二次革命。通过结合硅基微电子技术和微机械加工技术,MEMS具有革命性的工业和消费产品的潜力。
在此需要划重点的是,MEMS是一种制造技术,诸如杠杆、齿轮、活塞、发动机甚至蒸汽机都是由MEMS制造的。事实上,MEMS这个词实际上有一定误导,因为许多微机械设备在任何意义上都不是机械的。然而,MEMS又不仅仅是关于机械部件的微型化或用硅制造东西,它是是一种利用批量制造技术设计、创建复杂机械设备和系统及其集成电子设备的范例。再具化一点讲,集成电路的设计是为了利用
MEMS传感器的应用MEMS传感器目前主要应用在航空航天、汽车、消费电子等领域。
航空航天领域中的MEMS传感器主要有五种用途:
① 提供有关航天器的工作 信息,起故障诊断的作用;
②判断各分系统间工作的协调性,验证设计方案;
③ 提供全系统自检所需信息,给指挥员决策提 供依据;
④提供各分系统、整机内部检测参数,验证设计的正确性。
⑤监测飞行器内外部的环境,为飞行员航天员提供所需的生存条件,保障正常飞行参数。
在汽车应用中,用到越来越多的MEMS传感器,包括安全气囊中的汽车安全气囊感应器、悬架控制、翻滚等。另外,还包括汽车MEMS压力传感器和轮胎气压自动监测系统,MEMS压力传感器适合于任何类型的轮胎,在轮胎胎壁埋设一小块感压力敏芯片,自动测量轮胎气压、温度、转速和其它一些数据,并用特定的代码发送出来。还有汽车导航中的GPS信号补偿、气缸内压力测量等等大多数汽车子系统中。
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