sentaurus安装求助

1、将我们下载好后的软件解压缩然后复制到虚拟机中。
2、然后将里面的东西取出，安装Sentaurus 2013需要common和amd64两类安装包，将tar包在Linux系统下解压， 然后将common和amd64下面的文件复制到一个文件夹下。
3、Installer不需要安装，拷贝到任意目录下，双击setupsh即可运行。
4、打开之后，点击start，开始安装第一个程序。
5、用户名的输入，直接默认就好了。
6、安装文件选择，点击""放回上一层；
7、选择scl_v115，然后接下来是一些确认的东西，点击next就好。
8、然后点击next开始安装，这里两个都选择。
9、选择安装路径，安装到当前目录下。
10、确认安装信息，然后点击install开始安装。

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