晶体生长控制中的高精度控温系统

晶体生长控制中的高精度控温系统,第1张

介绍晶体生长控温系统的组成,微弱温差信号的接 口调理方法及智能控制器的分级控制方式。系统控温范围(25~75)℃,控温精度达0. 01℃,分辨率0.001℃,投入使用多年来,工作稳定可靠。
  关键词:晶体生长;控温;信号调理 High Precision Temperature Control System in the Crystal Growth Control

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