1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

通风柜的主要功能

通风柜的功能中最主要的是排气功能,在化学实验室中,实验 *** 作时会产生各种有害气体、臭气、湿气以及易燃、易爆、腐蚀性物质,为了保护使用者的安全,防止实验中的污染物质向实验室扩散,在污染源附近要使用通风柜,以往通风柜使用台数较少,只在特别有害且危险的气体及产生大量热的实验中使用。通风柜只担负实验台的辅助功能。近年来考虑到改善实验环境,在实验台上进行的实验逐渐转移到通风柜内,这就要求在通风柜里要有最适于设备使用的功能。特别是大多新建的实验室都要求有空调,因此在建筑的初步设计阶段就要将通风柜的使用台数纳入空调系统的计划。由于通风柜在生化实验室中占有非常重要的位置,从改善实验室环境、改善劳动卫生条件,提高工作效率等方面考虑,通风柜的使用台数飞快地增加,随之而来的是通风管道、配管、配线、排风等都成为实验室建设的重要课题。

使用通风柜的最大目的是排出实验中产生的有害气体,保护实验人员的健康,也就是说要有高度的安全性和优越的 *** 作性,这就要求通风柜应具有如下功能:

(1) 释放功能:应具备将通风柜内部产生的有害气体用吸收柜外气体的方式,使其稀释后排出室外的功能。

(2) 不倒流功能:应具有抑制有害气体从通风柜内部反向流进室内的功能。为确保这一功能的实现,一台通风柜与一台通风机用单一管道连接是最好的方法,不能用单一管道连接的,也只限于同层同一房间的可并连,通风机尽可能安装在管道的末端(或层顶处)。

(3) 隔离功能:在通风柜前面应用不滑动的玻璃视窗将通风柜内外进行分隔。

(4) 补充功能:应具有在排出有害气体时,从通风柜外吸入空气的通道或替代装置。

(5) 控制风速功能:为防止通风柜内有害气体逸出,需要有一定的吸入速度。决定通风柜进风的吸入速度的要素有:实验内容产生的热量及与换气次数的关系。其中主要的是实验内容和有害物的性质。通常规定,一般无毒的污染物为0.25~0.38m/s,有毒或有危险的有害物为0.4~0.5m/s,剧毒或有少量放射性为0.5~0.6m/s�气状物为0.5m/s�粒状物为1m/s。为了确保这样的风速�排风机应有必要的静压�即空气通过通风管道时的摩擦阻力。确定风速时还必须注意噪音问题�通过空气在管道内流动时以7~10m为限�超过10m将产生噪音�通常实验室的�室内背景噪声级 噪声限制值为70dBA�增加管道截面积会降低风速�也就降低噪音�考虑到管道的经费和施工问题�必须慎重选择管道及排风机的功率。

(6) 耐热及耐酸碱腐蚀功能:通风柜内有的要安置电炉,有的实验产生大量酸碱等有毒有害气体具有极强的腐蚀性。通风柜的台面,衬板、侧板及选用的水咀、气咀等都应具有防腐功能。在半导体行业或腐蚀性实验中使用硫酸、硝酸、氢氟酸等强酸的场合还要求通风柜的整体材料必须防酸碱,须采用不锈钢或PVC材料制造。

通风柜的类别

通风柜按照排风方式分类:分为上部排风式、下部排风式和上下同时排风式三类。为保证工作区风速均匀,对于冷过程的通风柜应采用下部排风式,对于热过程的通风柜采用上部排风式,对于发热量不稳定的过程,可在上下均设排风口随柜内发热量的变化调节上下排风量的比例,从而得到均匀的风速。

通风柜按照进风方式分类也分三类。通过室内进风在柜内循环后排出室外称为全排风式,这是应用非常广泛的一种类型。

当通风柜设置于采暖或对温湿度有控制要求房间时,为节省采暖,空调能耗,采用从室外取补给风在柜内循环后排出室外的方式称为补风式通风柜。

再一种就是变风量控制式的通风柜。普通的定风量系统需要人工调整固定叶片的风阀,调节通风柜的排风量,当调节阀门到某一角度时达到希望的面风速。变风量控制是通过调节阀门的传感器改变风量达到给定的面风速,当然标准式成本低,变风量成本高,适用于要求精度高的场合。

通风柜按照使用状态分类可分为整体式、下部开放式、落地式、两面式、三面玻璃式、桌上式、连体式以及根据不同实验使用需要而设计的对放射性实验、合成实验、过氯酸实验的专用通风柜。

通风柜的安全性

安全性是通风柜追求的最大使命,实验室使用通风柜就是要保证使用者的安全及防止对周围环境的污染。

大连赛博斯特实验室装备有限公司是国内较早开发生产通风柜的专业公司之一,太极傲飞公司积多年的经验与实践,结合国内外同类产品的特点逐步形成了以通风柜技术为中心的实验室设备的研制力量。太极傲飞的通风柜在追求性能和功能的同时,极大地考虑其安全性。这些安全性主要体现在:

1、 采用独缝式排风结构,有效地排出有害气体。

2、 流线形手把,手把与玻璃之间留有空隙,由于空气在台面上的流动是旋转的,从而保证有效地的进气。

3、 设置视窗防落销,万一钢丝绳脱落玻璃视窗意外落下,有了防落销就会接住,防止碰伤人员。

4、 玻璃视窗采用钢化玻璃,即使玻璃意外撞坏或爆炸,不会出现伤人意外。

5、 通风柜上部设置通风孔,即使玻璃视窗关闭也能进入空气,避免产生更大负压。

6、 通风柜壳体选用金属材料,防火不燃。内腔选用抗倍特板,不锈钢板等阻燃或不燃材料,台面选用实芯理化板或不锈钢板防酸碱、耐热、阻燃。

7、 玻璃视窗有效高度800mm,内腔1200mm,台面高度800mm,符合人体工程学,便于 *** 作,使用空间大,提高安全性。

8、 水咀、气咀在柜外设远距离 *** 作手把,比直接用手 *** 作更方便安全。

通风柜在使用时也必须注意安全

◆在实验开始以前,必须确认通风柜应该处于运行状态,才能进行实验 *** 作。

◆实验结束前至少还要继续运行5分钟以上才可关闭通风机,以排出管道内的残留气体。也可考虑安装排风时间延时器,确保通风机延迟运行。

◆ 实验时,在距玻璃视窗150mm内不要放任何设备,大型实验设备要有充足的空间,不应影响空气的流动,前面视窗尽量要关闭使用。

通风柜的选择

在实验室建设时,选择通风柜以及确定通风柜的安装位置,需要根据实验内容来选择通风柜的类型,材质、形状等,通常要考虑下列内容:

使用的药品:当使用有机物或其他特殊试剂实验时,要充分考虑其控制风速。热源:当使用带热源的设备时,其热量超过2000大卡/小时时要考虑排出热量所需的通风量从而确定通风机的功率。

有放射性物质或过氯酸等实验时:要选用专用的通风柜,其进风风速必须设定大于0.5m/s。

使用大型设备进行实验时:要考虑内部的有效尺寸,为排风留出必要的空间。

材质:在使用特殊酸类实验时,要考虑通风柜的材质,例如半导体行业,腐蚀行业等必须要用防腐蚀的材料制造。

外形尺寸:根据实验内容选择其外形尺寸,体积太大造成浪费,过小影响使用。

环境保护:排出的有害气体必须确保低于国家环保要求,如果超过国家卫生标准,应安装相应的净化装置。

节省能源:尽量考虑节省能源,在有采暖或空调房间内应采用补风形通风柜或选择带风量控制的通风柜。在选择通风机时,也要根据需要确定其功率,不宜盲目增大排风量和压力,可采用变频器或变风速风机来降低电耗。

通风柜安装位置上应该避免面向道路及人员通过频繁的场地,避免堵塞窗户及通风采光不利的地方,避免遮挡出入口影响门开关的地方,避免对置或放置在拐角墙壁处。在现代化的研究实验室里,先进的科学仪器,完善的实验设备,良好的实验环境是提升科技水平,促进科研成果的必要条件。以人为本,确保安全,提高效率是实验室建设的最大使命。通风柜作为生化实验室里重要的实验设施有举足轻重的作用,因此必须认真的选择满足各项技术指标的通风柜。单位片面压低造价而安装的通风柜,如果造成危害,其后果不堪设想,通风柜的功能性与安全性,应该引起人们足够的重视。


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