1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求？

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺，在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，最普通的万级区域环境建设参数一般如下（百级千级黄光区域要求更高）：

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%，水平单向流洁净室不小于40%，以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风，超温断电保护。

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无尘车间进风系统要安装，新风过滤箱，中央净化空调（中央净化空调要分为初效/中效/高效三个过滤段）末端有高效送风口。有必要时还装有净化增压箱；

无尘车间回风系统要安装，回风口，过滤初效器，中效回风箱。进入无尘净化车间之前先进入缓冲区，缓冲区门安装电子互锁，更衣处放置洁净储衣柜，空气 清新机；

人和货物进入净化车间须经过，风淋室，货淋室，传递窗主要传递小物品；在无尘净化车间内局部需要达到10-1000级地方安装垂直层流工作台，层流罩（FFU），洁净棚（可移式净化工作棚），自净器。测洁净室洁净度用，激光尘埃粒子计数器；洁净厂房要设计观察窗方便参观。

十万级无尘室需要用到的材料及设备有哪些，纯臻为您详细介绍：

1.地面。普通防腐地面；防静电地面。根据无尘室内的技术要求和素地情况选择地面厚度。

2.墙面。可选择水泥墙面防尘处理；塑钢＋玻璃隔断；彩钢板隔断最佳。

3.吊顶。根据建筑高度和净化等级，可选择铝合金板吊顶，或者直接在顶面做防尘。

4.拐角。甲方选择低成本无尘室往往不会选择全彩钢板围护，因此园弧角的处理可以在施工前包在吊顶施工，或地面施工里。

5.配置。常规设备5，6，7项可以分立，亦可根据实际情况合并。以“效果可靠维护方便”为原则。

6.分体空调加中效棉。有电子厂在分体空调的回风罩后面加中效棉，经过现场测试有提高效果

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