处理尾气的方法有哪些

常见的尾气处理方法有：1、燃烧法，包括高温燃烧和催化燃烧，前者需要附加燃料燃烧，因此，使用该法时要考虑回收利用热能；2、吸收法，即采用适当的吸收剂（如柴油、煤油、水等介质）在吸收塔内进行吸收，吸收到一定浓度后进行溶剂与吸收液的分离，溶剂回收，吸收液重新使用或另行处理，采用这种方法的关键是吸收剂的选择；3、活性炭吸附法，采用多孔活性炭或活性炭纤维吸附有机废气，饱和后用低压蒸汽再生，再生时排出溶剂废气经冷凝、水分离后回收溶剂，适用于不连续的处理过程，特别对低浓度有机废气中的溶剂回收有很好的效果。

多晶硅尾气车间是三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化，精馏，还原和尾气回收。

多晶硅尾气车间是最主要的工艺包括，三氯氢硅合成、四氯化硅的热氢化，精馏，还原，尾气回收，还有一些小的主项，制氢、氯化氢合成、废气废液的处理、硅棒的整理等等。

多晶硅企业在还原三氯氢硅过程中会产生大量氯硅烷尾气，成分和结构复杂，主要是四氯化硅和三氯氢硅。

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