1、掩膜材料(主要指光刻胶)显影不清和曝光强度不够,会使显影时留有残胶,通常会使腐蚀不净。
2、须腐蚀膜的类型(指如SIO2,POLY,SILICON等)。
3、腐蚀速率。腐蚀速率的变化会使腐蚀效果发生改变,经常会导致腐蚀不净或严重过腐蚀,从而造成异常,影响腐蚀速率的因素可见下面的影响因素。
4、浸润与否。由于在湿法腐蚀时由于腐蚀液与膜间存在表面张力,从而使腐蚀液难于到达或进入被腐蚀表面和孔,难于实现腐蚀的目的。
1、高稳定性。由于铝丝特有的自排料结构,在半导体材料铝线键合工艺中,具有良好的稳定性,可以有效避免排料前材料对接点的不稳定、变形和断裂,从而使排料工艺达到高稳定,降低排料失败率。2、优异的导通性。铝丝的良好的电阻性能可以使半导体元件的排料工作保持较高的效能,使半导体元件能够在高位置、低位置和大型元件工作下,都能有效保证排料和接点之间的最佳导通性能。
3、高精度控制。在半导体铝线键合的过程中,具有高精度控制能力,可以有效控制排料工作的准确度,并具有良好的排料定位能力,能够准确控制和平衡排料工艺中接触面积、接触压力等参数。
4、抗湿潮性能优越。铝丝具有良好的湿潮抗性,在半导体材料的排料过程中,可以有效防止湿潮影响排料质量,有效控制有害气体的释放和渗出,使排料结构得到高效保护,并最大限度地提高元件的可靠性和寿命。
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