1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

洁净室工程能做的事就多了!

洁净室即无尘室,是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化,其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能之特性。主要应用于电子、半导体、食品、印刷包装等行业等行业。

随着社会的发展越来越多的行业也需要洁净室净化工程。

生产工艺的需要,与生产设备,生产环境密切相关,主要优点如下:

1.要防止有灰尘,空气中有很多漂浮的灰尘

2.防止体屑毛发等掉落到产品上,严格的需要带手套,这样才能保证产品质量,

3.防止静电

因此洁净室工程做好后,能生产出更好的产品,有些行业在里面工作,严格管理对产品对人的身体都是有好处的。希望能帮到你!


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