1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

照着洁净室的要求去做一些规范吧,

不一定要洁净室的全部设备的,

有些工厂有很好的设备,可是工人素质跟不上,室内环境还是很差,落尘度很高。

尽可能的隔离室内环境,使用空气交换过滤设备,地板上蜡,多使用粘尘布,工人使用防静电服装并尽量保持干净, *** 作动作要小,戴口罩头套,设备的锈迹和油漆沫都要小心清理。

另外产品在加工过程中一般都要吹等离子风扇,去静电的,产品带静电的话容易粘尘,影响很大。室内湿度也要控制。

“负离子空气净化器”这种东西是生活电器,功率很小,指标很低,是满足不了工业环境的需求的。工业中用的是那种设备类似于大空调。

楼主你要改善的话应该从成本低和易于实现的开始实行,直到目标达成为止。

洁净车间装修施工所需材料

隔热夹心板

隔热夹心板是通过先进的自动成型机将彩色钢板压型后用高强度粘接剂把内外两层钢板(也可以用铝板,不锈钢或装饰板)与自熄型聚苯乙烯泡沫板(也可用其他防火材料)加压加热复合而成的新兴建筑板材。

隔热夹心板外型美观,色泽鲜艳多样,轻质高强,施工迅速方便,以板块拼装,不用大型起吊设备,无湿作业。集承重,保温,防火,装饰于一体,不用二次装饰,可广泛用于大跨度结构屋面,墙体,保温隔热厂房或保温防火厂,净化厂房,冷库,冷藏车,集装箱房。

洁净密闭

洁净密闭门分铝合金门和彩钢板门两中。门扇轻,钢性好,密闭性能佳,产品整体性能好,表面平整,光滑,耐腐,不易积尘,外型美观高雅,启闭灵活,经久耐用,具有隔音,保温,防火等优点。具体规格可以根据用户的要求设计。

洁净密闭窗

洁净密闭窗可根据用户的设计要求,采用R60或R44系列型材,制作成圆弧边框或三角边框。

洁净密闭灯

洁净密闭灯分为普通型和应急型两种。通常采用双管形式。其中应急型在正常情况下也可以当普通型使用,在厂房突然断电的情况下,其可保持继续照明, 并且不需要单独供电系统。在用材上,洁净密闭等有不锈钢和烤漆型两种,面罩有透明和不透明之分。

地面材料

地面可采用环氧自流坪地坪或高级耐磨塑料地板,有防静电要求的,可选用防静电型。

净化车间所需设备

风淋室 传递窗 工作台 FFU过滤风机 过滤器 层流罩 高效送风口

清阳10多年凭借10多年经验为您解答,希望能帮到您


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