半导体行业超纯水质量会有哪些要求?

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 超纯水的应用领域涵盖了整个电子行业,还有许多新能源行业也有涉猎,比如我们常说的芯片、半导体、光伏等等。今天我们主要来说一下半导体领域中超纯水的应用。在半导体生产中,超纯水都会被应用在哪里?答案是在晶圆冲洗、化学品稀释、化学机械研磨、洁净室环境中都会应用到。那么,质量会有哪些要求?虽然每个行业都使用所谓的“超纯水”,但质量标准却各不相同。半导体所用的超纯水需要达到的水质标准为:我国电子工业部电子级水质技术标准(18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm五级标准)、我国电子工业部高纯水水质试行标准、美国半导体工业用纯水指标、日本集成电路水质标准、国内外大规模集成电路水质标准。

超纯水机,是采用预处理、反渗透技术、超纯化处理以及后级处理等方法,将水中的导电介质几乎完全去除,又将水中不离解的胶体物质、气体及有机物均去除至很低程度的水处理设备。 超纯水机又称做:超纯水器,超纯水设备,超纯水仪,超纯水系统,实验室超纯水器等。 超纯水机所生产的超纯水电阻率一般应大于10兆欧,10兆欧以上的水才叫超纯水。优质超纯水出水能达到18.25兆欧。

工业纯水机由预处理系统、精处理系统、后处理系统三大部分组成。原水经石英砂单元、活性炭单元、软水器单元等预处理系统后,使水中的悬浮物(颗粒物质)、胶体、有机物、硬度、微生物等杂质含量大大降低,以减轻后续的反渗透、电除盐等精处理系统的处理负荷,延长其使用寿命。

主要应用于

1、电子、电力、电镀、照明电器、实验室、食品、造纸、日化、建材、造漆、蓄电池、化验、生物、制药、石油、化工、钢铁、玻璃等领域。

2、化工工艺用水、化学药剂、化妆品等用纯水。

3、单晶硅、半导体晶片切割制造、半导体芯片、半导体封装 、引线柜架、集成电路、液晶显示器、导电玻璃、显像管、线路板、光通信、电脑元件 、电容器洁净产品及各种元器件等生产工艺用纯水。

4、纯净水设备,反渗透设备,锅炉软化水设备、工业软化水设备、食品行业软化水设备、家用软水机

参考资料:百度百科 http://baike.baidu.com/view/1076683.htm?pid=baike.box


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