半导体wat是什么意思

半导体wat是什么意思,第1张

半导体Wat是指晶圆生产出来后,在出晶圆厂之前,要经过一道电性测试,称为晶圆可接受度测试(WAT)。

晶圆生产出来后,在出晶圆厂之前,要经过一道电性测试,称为晶圆可接受度测试(WAT)。这个测试是测试在切割道(Scribe Line)上的测试键(TestKey)的电性能。测试键通常设计有各种原件,例如不同尺寸的NMOS、PMOS、电阻、电容以及其他工艺相关的特性。

这一道可以当做是初选。那些有严重生产问题从而使得测试键的电性能超出规格之外的晶圆会在这一道被筛选出来,报废掉。这一道报废掉的晶圆,因为还没有出货到客户手里,所以是不收取客户钱的,由晶圆厂自己吸收。

未来两年全球晶圆厂设备开支持续增长。疫情对全球半导体行业带来深远影响。需求 端,居家及远程办公带来笔电等消费电子需求激增,此外全球正步入第四轮硅含量提升 周期,服务器、汽车、工业、物联网等需求大规模提升。

封装之后的测试不熟,有FT、SLT等,具体不详,yield map一类,以前在fab的时候,看到的是结果,具体测法不详,说一下fab芯片制造完成之后的测试吧。

1,出厂必测的WAT,wafer acceptance test,主要是电性能测试,每一类晶体管的参数,电压电容电阻等,每一层金属的电阻,层间的电容等,12寸厂的晶圆抽测9颗样点,均匀分布在整个wafer上,答主熟悉的55nm技术,每一个样点上必测70~120个参数,整片wafer测完约需要10~15分钟,设备主要是安捷伦和东电的;

2,在晶圆制造过程中监测膜厚、线宽等,膜厚是13点,线宽是9点;

3,光学镜头芯片还会测试wafer的翘曲度、整体厚度值,要配合后端芯片的再制备;

4,在测试芯片(非生产性正常检测)的时候,还会测试NBTI、TDDB、GOV等;

5,其他根据芯片特性的测试。


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