1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?

1000平米的半导体制造无尘车间的建造有哪些要求?,第1张

半导体制造无尘车间洁净度等级要求比较高。按照IC生产的不同阶段匹配不同工艺,在各自工艺流程不同环节要配置相应的生产环境,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,最普通的万级区域环境建设参数一般如下(百级千级黄光区域要求更高):

1、无尘车间内的噪声级不大于65dB(A)。

2、垂直流洁净室满布比不小于60%,水平单向流洁净室不小于40%,以防止局部单向流。

3、无尘车间与室外的静压差不小于10Pa,不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不小于5Pa。

4、补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。

5、保证供给无尘车间洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。

6、净化空调系统加热器设置新风,超温断电保护。

对于半导体这样高要求的无尘环境,推荐找CEIDI西递做全面的设计和施工,他们是洁净工程领域的EPC集成服务商,在无尘车间的建造方面已经有很多成功案例。题主大大采纳下我呗

1、需求沟通 ⇒ 2、勘察现场 ⇒ 3、方案设计 ⇒ 4、施工图设计 ⇒ 5、设计评审复核 ⇒ 6、造价预算

细节:

实验室墙面、地面:展厅、文化墙、环氧树脂地坪、金刚砂耐磨地坪、PVC塑胶地板、抛光砖地面

实验室隔断:玻璃隔断、洁净板隔断、砖石隔断

实验室系统装修:气路、通风、新风、照明

实验室水电:实验室供水、实验室供电、实验室废水处理

实验室家具定制:实验台、通风柜、天平台、气瓶柜、药品柜、器皿柜等储柜

其实实验室建设不同于普通房屋的建设,实验室建设要考虑到方方面面,技术性比较突出,所以建设之前我们必须做出完整的规划方案才可以实施,目前宝诺根据技术人员多年的实验室经验总结出了完整的实施方案

要根据检验项目的不同,对检验设备进行分类,形成可以同时开展不同检验项目的几个区域,赋予每个区域一定的功能性,最大限度地使每个区域可以独立完成所具有的特定功能。如果两项或两项以上不相关联的检测项目,在同一检测区域进行检测,并且在检测过程中相互间存在干扰,那么这就说明检测区域的功能没有得到合理的分配。

深圳市宝诺实验有限公司为您解答,希望对您有所帮助


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: https://outofmemory.cn/dianzi/8349804.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-15
下一篇 2023-04-15

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存