对于平面光波，常用 值来衡量。 值又叫衍射极限倍数 ，定义为
其中 是实际光束的发散角， 是理想光束的发散角，它是理想平行光束经过圆孔衍射所得的第一暗环的全发散角，即
是平行光的波长，圆衍射孔直径
如果是方形衍射孔，所得的第一暗环的全发散角为 ,
,而实际发散角 ,f为透镜焦距，D为光束经透镜聚焦后的光斑直径。
对于激光，目前国际上普遍将光束衍射倍率因子 作为衡量激光束空域质量的参量。光束衍射倍率因子 定义为
对于基模高斯光束 =1, 因子越小，激光束的亮度越高
钢轨轮廓仪的工作原理：
钢轨轮廓仪通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量，直接测量钢轨表面，如孔、槽等的表面粗糙度，直接按某种评定标准读数或是描绘出表面轮廓曲线的形状，测量速度快、结果可靠、 *** 作方便。被测表面容易被触针划伤，在保证可靠接触的前提下尽量减少测量压力，其精度保证由液压或者气浮导轨等高精密装置完成。
知识点延伸：
钢轨轮廓仪是对钢轨的轮廓、二维尺寸、二维位移进行测试与检验的仪器。钢轨轮廓仪按传感器的工作原理分为电感式、感应式以及压电式多种。
NewViewTM6300三维表面轮廓仪产品编号： 6101461516
产品名称： NewViewTM6300三维表面轮廓仪
规 格： 美国Zygo NewViewTM6300
产品备注： NewViewTM6300三维表面轮廓仪
产品类别： 光学仪器
产 品 说 明
这是一款精密定量，测量灵活的三维表面轮廓仪。其表面测量技术对于生产和研究领域的某些过程控制至关重要。
NewView6300可以以完美的精度提供样品表面粗糙度，步高，关键部分尺寸 ，以及其他面形特征的图形和数值结果。所有的测量过程都不会破坏样品，测量速度快，并且样品无需特殊处理。样品纵向分析的范围自小于1nm直至15000μm，基于专利的扫描技术，NewView6300的纵向分辨率可以达到0.1nm，此分辨率不受样品纹理，物镜放大率以及高度特性的影响，每次测量只需一次扫描！这就是今天ZYGO提供的具有最高分辨率，最高精确度的功能齐全的测量仪。
高速，非接触的测量方法
亚纳米级的Z轴分辨率
台阶高度测量达到15mm
使用简捷，高性价比
高性能的光写成像系统
NewView6300出色的光学性能和图形质量,塑造了ZYGO公司在光学设计和制造上的良好形象并积累了大量宝贵的相关经验.标准化配置包括一个6档位的缩放系统。更可提高对样品的3D分析能力。ZYGO公司提供各种放大率的物镜 ,它包括从1.0X至100X的放大率,还有用于扩展工作距离的物镜等.物镜可以很容易的安装在一个6工位的手动或者自动塔台，也可以使用快速装卸的适配器。NewView6300可以分辨亚微米级的XY平面面形，整个测量区域最大可达到100mmX100mm，如果使用图像拼接功能，还可以分析更大的范围，NewView6300可以在需要达到您要求的测量范围和分辨率，如今，测量范围和分辨率都不是问题。
NewView6300可以在满足要求的环境下提供高速，稳定高重复率的测量。ZYGO一如既往地保证扩展测量的准确度以及各个零部件的良好性能。整个系统的准确度可以很容易地使用美国国家仪器标准测量局NIST提供的标准块进行验证。
NewView6300配备ZYGO公司的MetroProTM测量软件，提供三维或者两维的数据分析，图形，以及应用程序选择。MetroProTM友好的 *** 作界面包括自动控制，密码保护，统计数据，可编程的脚本，个性化的界面，可自行设置的合格/不合格的标准等等。您也可以通过使用可选组件而使效率最大化，这些组件包括：一个五轴的自动化平台，自动聚焦，自动塔台等。
NewView6300为您提供全方位的技术来满足您的测量需要，为您的发展提供强大动力。
技术指标
NiewView6300
系统
原理 专利的白光扫描干涉仪
物镜 1X，2X，2.5X，5X，10X
20X，50X及长焦物镜
图像缩放 标准，6档位，0.5X，0.75X，1.0X，1.5X，2.0X
视场 0.04-17.5mm，使用拼接功能可获得更大范围；跟物镜有关；可参看物镜指标
光源 长寿命的白光LED
测量列阵 640x480像素，也可以选择更高分辨率
样品平台 可选择手动或者自动平台。标准得Z轴方向的移动范围是100mm
手动型:±6o tip/tilt,±2in.X/Y
自动型:±4o tip/tilt,±3in.X/Y
扫描装置 低噪电容传感器的闭环反馈压电陶瓷
性能
纵向分辨率 可到 0.1nm
横向分辨率 0.45 to 11.8um
扫描速度 <=85um/s
台阶测量准确度 <=0.75%
台阶测量重复率 <=0.1%,1sigma
纵向扫描范围 可到 15mm
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