集成电路半导体车间工厂需要布置无尘车间？

集成电路无尘车间是为了满足半导du体制造工艺需求的洁净室，该无尘车间对环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等都有一定的要求。相对于其他工业洁净室，集成电路制造无尘车间有面积大、洁净等级高、温湿度控制精度高等特点。

远程在线式遥测激光尘埃粒子计数器是几乎每个精密电子车间必不可少的设备，如果在我们的半导体车间中有这样一种监测颗粒浓度的仪器，那么我们在办公室时就可以轻松了解车间中尘埃粒子情况，实现产品生产与监督智造的智能体验。例如，当我们检测到车间内的颗粒浓度过高时，我们可以及时通知相应车间的负责人，并采取针对性的措施降低颗粒浓度，以达到安全可靠的标准，这非常有利于产品的安全生产，为客户提供可靠的高质量产品。

CW-RPC系列远程遥测激光尘埃粒子计数器是深圳赛纳威研发的智能多点净化检测系统的终端设备，不仅可以为用户提供实时准确地远程测量所监控环境的微粒数量和净化等级，根据不同需要增加或减少控制终端，还可以实现7*24实时远程自动监测，通过RJ45网络接口、WiFi、485（moudbus）等，将数据送给PC终端，显示当前监测环境的洁净状况。该粒子计数器按照国际标准ISO14644-1,GMP和日本工业标准（JIS）要求标定，专业应用于电子行业、制药车间、半导体、光学或精密机械加工等洁净室环境自动监测系统。

（1）根据反应物和生成物以及质量守恒定律可知反应还应有NH4F生成，方程式为4NH3+3F2═NF3+3NH4F，

故答案为：4NH3+3F2═NF3+3NH4F；

（2）NH3存在氢键，而NF3只存在分子间作用力，两种作用力前者较强，物质的沸点较高，

故答案为：NH3能形成氢键，NF3只有范德华力；

（3）与铜在同一周期，且未成对价电子数最多，可推知外层价电子排布为3d54s1，应为Cr，原子序数为24，根据能量最低原理、构造原理、洪特规则可写出电子排布式为1s22s22p63s23p63d54s1，

故答案为：1s22s22p63s23p63d54s1（或[Ar]3d54s1）；

（4）有题意可知该反应的化学方程式应为：6HF+NaAl02+2NaCl═2HCl+2H2O+Na3AlF6，该微溶物为：Na3AlF6，中心离子为Al，配位数为6，

故答案为：Na3AlF6；Al；6；

（5）①根据电离能的跳跃确定最外层有几个电子，表中R和U的第一电离能较小，但跳跃至第二电离能时突然变大，说明失去一个电子后变为稳定结构，最外层有一个电子，故R和U处于同族，

故答案为：R；U；

②由T元素电离能的变化可知T最外层有三个电子，位于周期表中第ⅢA族，在p区，若T为第二周期元素，应为B元素，E是第三周期元素中原子半径最小的元素，应为Cl元素，二者形成的化合物为BCl3，根据价层电子对模型可知应为平面正三角形结构，中心原子的杂化方式为sp2杂化，

故答案为：p；平面正三角形；sp2．

---