半导体厂商如何做芯片的出厂测试?

半导体厂商如何做芯片的出厂测试?,第1张

封装之后的测试不熟,有FT、SLT等,具体不详,yield map一类,以前在fab的时候,看到的是结果,具体测法不详,说一下fab芯片制造完成之后的测试吧。

1,出厂必测的WAT,wafer acceptance test,主要是电性能测试,每一类晶体管的参数,电压电容电阻等,每一层金属的电阻,层间的电容等,12寸厂的晶圆抽测9颗样点,均匀分布在整个wafer上,答主熟悉的55nm技术,每一个样点上必测70~120个参数,整片wafer测完约需要10~15分钟,设备主要是安捷伦和东电的;

2,在晶圆制造过程中监测膜厚、线宽等,膜厚是13点,线宽是9点;

3,光学镜头芯片还会测试wafer的翘曲度、整体厚度值,要配合后端芯片的再制备;

4,在测试芯片(非生产性正常检测)的时候,还会测试NBTI、TDDB、GOV等;

5,其他根据芯片特性的测试。

如果从Turkey的角度说, 前段应该是指在wafer上构建电路, 中段是封装测试,后段是上PCB板.

1. 在wafer上构建电路, 一般都分为6种工艺,photo,etch,diffusion,thin film,CMP,IMP. 然后有中间有一些yield测试,reliability 测试.

2.

封装测试阶段,sealing,die sawing, mounting等,CP, FT等测试

3. 后段是chip完成,经过测试合格,上PCB板的过程!

est yield 1.85 在微电子工业上应用们意思是: 预计不良率1.85百分点,即良率为98.15% 如果在百万分之一的半导体行业,就是预计不良品1.85/Million, 达到六标准差要求


欢迎分享,转载请注明来源:内存溢出

原文地址: https://outofmemory.cn/dianzi/8386932.html

(0)
打赏 微信扫一扫 微信扫一扫 支付宝扫一扫 支付宝扫一扫
上一篇 2023-04-15
下一篇 2023-04-15

发表评论

登录后才能评论

评论列表(0条)

保存